羅茨式真空泵使用時啟動快，耗功少，而且運轉維護費用較低，效率也高，因此得到廣泛的使用。隨著其不斷的使用，也難免會發生一些故障問題，如果能夠掌握排除方法，那勢必就會為故障的解決提供很好的條件。
羅茨式真空泵常見的故障及排除方法有如下幾種：
一、泵的抽氣量不夠
羅茨真空泵產生這種故障的原因可能是：泵的轉速不夠；密封不嚴，在進氣管路的連接處或軸封處漏氣；泵的轉子與轉子、轉子外圈與泵殼、轉子端面與端蓋周的間隙過大，氣體返流量增大；環境溫度或冷卻水的溫度過高。
處理方法：
1、若泵的轉速不夠，而抽氣量是與泵的轉速成正比，則泵的抽氣量就會下降。這有兩種情況：一種情況是泵的轉速未配備好，也就是皮帶輪的直徑不合適（即速比不合適），可更換皮帶輪，改變皮帶輪的直徑，另一種情況可能是皮帶安裝不當，未張緊，皮帶打滑而降低了轉速，這可調節電機位置，使皮帶張到一定緊度。
2、查明何處漏氣，針對具體情況進行處理。
3、若轉子與轉子型面間的間隙不均勻，在轉一圈中一處間隙大，另一處間隙小，則是由于在裝配時，同步齒輪的嚙合狀況未調整好。
4、由實踐得知，環境溫度升高則抽氣量就會降低。針對這種情況，盡量將注入水溫降低。
二、羅茨真空泵真空度不夠高，這種故障與上一種情況相似。
產生這種情況的原因可能有幾方面：進氣系統密封不嚴，有漏氣現象；泵本身密封不嚴，在軸封處漏氣；轉子與轉子或轉子與殼體的間隙過大，空氣溫度過高；泵的進出口氣體介質的壓力差過大。
處理方法：
解決前三種故障的辦法與前述方法相同；空氣溫度過高，會降低真空度，如果是濕式真空則可在進氣口注入冷水，如果是干式真空泵則在出氣口加冷卻器，降低空氣溫度，壓差過大的原因甚多，若是干式真空泵需檢查安全閥（溢流閥）是否失靈、如失靈初期出氣壓力可能偏高，若是濕式泵則可能是出口水封壓力過高或者是出口管徑過小、彎頭太多而增加了出口阻力所致，針對實際情況予以排除。
三、停車后泵再啟動困難。
如是濕式泵，則可能有下列幾種原因：泵殼內壁和轉子外表面水垢沉積太厚，將間隙堵死了；在安裝或更換進氣管道時，未很好將管內清洗干凈，致使焊渣或其他硬雜物帶勁了泵內；轉子發生串位，轉子端部與端蓋發生了摩擦而增大了阻力；轉子軸彎曲，轉子或同步齒輪咬死。
處理方法：
1、將水垢除掉。
為了避免產生嚴重的結垢現象，冷卻水應該是經過處理的溫度在20℃以下的清潔冷水。
2、在裝管子之前，一定要將管內清理干凈，在有條件的場合，先將管內壁通擦干凈，而后用壓縮空氣吹洗。
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